AMC氣體監測設備，VOCs污染防治設備公司，創控(6909.TW)

來簡單理解一下，AMC氣體監測設備，VOCs污染防治設備公司，創控。這是一家剛興櫃的氣體檢測設備公司。

創控，主要業務為VOCs(揮發性有機氣體)分析儀器開發、 生產、銷售，AMC 客製開發及整合服務，VOCs 監測系統服務。VOCs(Volatile Organic Compounds)監測系統設備為搭載驗室等級 VOCs 監測技術之微型化可攜式氣體分析儀，鎖定空氣中揮發性有機氣體(Volatile Organic Compound, VOCs)為主要監測對象，以微型化之體積乘載實驗室準確度等級的表現，提供全自動線上連續監測氣體分析。主要應用於半導體製程控管、環境空氣監測。

AMC 產業發展

依 AMC 微污染防治產業是近 20 年發展起來的，隨著國內高科技半導體技術不斷發展下，製程元件與線寬已逐漸進入 3奈米世代，如此高階製程技術下，各製程環境中之氣態分子污染物質 (airborne molecular contaminant， AMC)，已成為影響製程良率之關鍵因子，而氣態分子污染物其污染途徑， 可藉由化學反應(酸鹼反應、氧化還原反應) 與產品元件產生反應或以物理性吸附沈積方式於晶圓表面或曝光鏡頭表面形成薄膜，將造成晶圓產品元件之缺陷或製程可靠度降低。目前國內各半導體廠已開始重視 AMC 議題，特別是高階晶圓廠。 

潔淨室內環境潔淨度對半導體製程良率的影響，相關業者很早就開始進行防範處理。過去主要對於懸浮微粒(particulate matter)控管較為重視，然而隨著製程線寬設計愈來愈精細，對於潔淨度控管的標準也愈形嚴格。在懸浮微粒的控制部分，一般常採用高效率濾網(High-Efficiency Particulate Air, HEPA)，其對於微粒(0.3μm 以上)去除率可達 99.99 %；或是使用超低量穿透濾網(Ultra Low Penetration Air Filter, ULPA filter)，對於微粒(0.12μm 以上)去除率亦可達 99.999 %。因此，現今懸浮微粒污染已不再是造成晶圓缺陷、降低產品良率的主因。取而代之，氣態分子污染物(Airborne molecular contaminants, AMCs)已成為影響產業製程產率的重要因素之一，因此逐步受到重視。

AMC 可歸為五類，分別為酸(acids，簡稱 MA)、鹼(bases，簡稱 MB)、 可凝結物(Condensables，簡稱 MC)、摻雜物(dopants，簡稱 MD)及其他未分類物(no classes)。與懸浮微粒不同，AMC 氣體分子除自身可能吸附於物體表面外，其 AMC 分子之間可能會相互反應結合產生微粒沉積。 再者，AMC 汙染物依其本身的結構及化學特性，亦可能對製程造成其他化學性或物理性的影響，其影響更甚於懸浮微粒汙染，故對於 AMC 汙染物之防治不可不慎。

潔淨室內的 AMC 來源可能是外氣、人體、製造設備、製造用氣體或藥液蒸氣建築物及潔淨室內的建材等，由於來源非常廣泛，污染物項目族繁多元，因此如何有效控制成為業者相當困擾的一大難題。 

此外，由於半導體製程有很多階段，而每段製程都有不同的化學物質投入，因此當要判斷潔淨室 AMC 污染來源時，除了要確認是否來自當下製程的污染，也要同時考慮到是否來自其他製程的殘留或影響，亦或來自操作人員或環境周邊造成之污染。唯有詳細精確的掌握影響狀況，才可能真的杜絕污染源繼續發展。

AMC 濃度檢測是微污染防治的第一道防線，精確的檢測數據能提升污染物的特性與濃度評估準確度，進而完成合適的控管計畫進行有效的 AMC 攔截與去除，使環境濃度獲得良好的控制，以達到先進製程所需的穩定製程環境。世界最先進製程的晶圓廠就在台灣，因此 AMC 微污染防治產業的重鎮就在台灣。近年來中國也在極力發展半導體產業，持續有大型晶圓廠投資興建計畫，這也將帶動 AMC 微污染防治產業的剛性需求。

VOCs 產業發展

揮發性有機氣體(Volatile organic compounds，VOCs)充斥在現今人們的生活當中，人們日常使用的油漆、油性筆、香水、殺蟲劑等，皆是揮發性有機物(VOCs)。工業環境也是 VOCs 的重點貢獻區域，如煉油及石化產業，其製程排放的 VOCs 空氣污染物對人體的危害更為直接。 揮發性有機物(VOCs)及有害空氣污染物(HAPs)為近年來臺灣、美國及中國大陸中央及各地方主管機關在空氣污染管制上的重點物質。

2022年4月7日世界衛生日，世界衛生組織(WHO)發布新的研究報告顯示，全球99%的人口呼吸的空氣都已經超過世衛組織設定的空氣品質標準超，威脅著人類的健康。空氣污染問題，向來都是全球公共衛生的重要議題，也是當前各國共同面對的嚴肅課題。日益增加的空污關注議題、環保意識的抬頭、監測設備效能要求的提升等，促使空氣品質監測產業的快速發展。2021年全球空氣質量監測市場價值達到43億美元(IMARC, 2022年1月)，各市場研究機構單位皆以5%～7%的複合年增長率，預測著未來5-10年的空氣質量監測市場。美國的空氣質量監測系統市場規模在2021年為16億美元，占全球市場38%。中國大陸作為世界第二大經濟體，預計在2026年將達到5.3億美元的市場規模。

依據 Technavio 於 2022 年 2 月發布的報告，揮發性有機化合物氣體感測器市場預計將從 2021 年到 2026 年，每年以 7.21%的複合年增長率，預計 5 年內將增長 6,897 萬美元。如按終端產業劃分，市場分為石油和天然氣、化學品、農業、汽車等。其中又以石油和天然氣產業有顯著成長之表現，主係政府和監管機構的推動及提倡，以及日益增長的能源需求。如按地域劃分， 市場分為北美、歐洲、亞太地區、中東地區和南美洲，其中又以北美之市場成長性最高，預計將貢獻 39%的成長率。

中國VOCs 產業發展

近年來，隨著中國大陸 VOCs 治理政策和减排措施快速集中出台， VOCs 治理逐漸進入重要時期，為 VOCs 產業開闢更大的市場空間。據初步推算，到 2030 年，中國大陸工業源 VOCs 的減排量約 2,000 萬噸，由減排帶來的投資需求约 8,000 億人民幣。

2020 年，全球 VOCs 治理行業新增市場規模繼續保持上升趨勢，市場規模超過 400 億元人民幣。其中，中國大陸貢獻全球新增市場 53%~58%的份 額。VOCs 治理在歐美一些發達國家已得到廣泛重視，設備和工藝等也較為成熟，從歐洲和美國 VOCs 治理歷史看，預計未來 20~30 年，全球 VOCs 治理市場仍將以中國大陸為主要市場。

中國大陸國家發改委等十部門於 2021 年 11 月 9 日公布的「十四五全國 清潔生產推行方案」指出，到 2025 年，中國大陸工業能效、水效要較 2020年大幅提升，另化學需氧量、氨氮、氮氧化物、揮發性有機氣體(VOCs)排 放總量比 2020 年分別下降 8%、8%、10%、10%以上。

為達 2030 碳達峰、2060 碳中和的「雙碳」目標，中國大陸持續高舉綠色低碳大旗，中國官方陸續發布關於做好碳達峰碳中和工作的意見、2030 碳達峰行動方案、關於打好污染防治攻堅戰的意見及昨天公布的全國清潔生產推行方案等政策。就總體要求中的主要目標，方案提出，到 2025 年，中國清潔生產推行制度體系基本建立，工業領域清潔生產全面推行，工業能效、 水效要較 2020 年大幅提升，新增高效節水灌溉面積 6,000 萬畝，另化學需氧量、氨氮、氮氧化物、揮發性有機氣體(VOCs)排放總量比 2020 年分別下降 8%、8%、10%、10%以上。 

2014-2019 年，中國大陸 VOCs 治理行業市場空間以 23.6%的年複合增長率成長，預計至2023年，隨著中國大陸政府繼續提高VOCs治理重視程度， 未來 VOCs 治理設備繼續升級、治理技術持續提升，該行業有望迎來爆發式增長，年複合增長率提升至 28.5%，整體市場規模有望達到 666.6 億人民幣。

創控，是一家AMC氣體監測設備，VOCs污染防治設備公司，2022年ROE為20%，毛利率為66%，資產負債率為18%。銷售區域以台灣佔69%，中國佔15%，日本佔8%，北美佔7%，新加坡佔2%。銷售以氣體檢測設備收入佔63%，勞務收入佔37%。公司主要客戶有台積電，Micron.....等等。產品應用在半導體超過7成。

競爭

隨著半導體先進製程的高速發展，晶片製程中的 AMC 監控需求也日漸趨高， 監測設備之供應鏈也隨之增加。創控AMC 監測系統之主要競爭者為國外品牌的監測設備，並由國內代理商為主要銷售及服務提供者。有別於代理商對於技術及應用調整之限制，創控具有完整之技術團隊，藉由直接與終端客戶應用交流之經驗，能有效且即時滿足客戶需求。除技術團隊外，創控設有完善的產線， 穩定生產高品質產品，在進入市場後短短 3 年內成為指標客戶的環境 VOCs 標準 監測設備，現為半導體 AMC 市場主要供應商之一。 

另環境監測市場因應相關空氣法案之推行而發展，隨著近年人民環境意識高漲，許多國家的環境主管機關也陸續推出 VOCs 相關監測法案。目前台灣環境市場以環保顧問公司為主流服務提供者，環保顧問公司選擇符合成本效益之設備來執行政府計畫，因此，創控在環境產業之競爭者主要為低成本檢測器(Low-costSensor)供應商。但創控憑藉著高精確的監測技術及應用經驗，在環境產業中走出一條藍海市場，以高品質的監測表現及應用服務，獲得客戶高度信任，成為環境監測市場重要之供應者。