半導體真空閥門、真空設備維修公司，日揚(6208.TW)

前些日子半導體設備零組件公司，明遠，已經掛牌。明遠的自主品牌業務比較像是電控類。它的母公司，日揚，則偏向機械類。這邊就來簡單理解一下半導體真空閥門、真空設備維修公司，日揚。

日揚，主要從事專業製造真空零組件、真空閥設計、製造及銷售；Micro-bubble wet Scrubber節能及減廢設備、關鍵零件、開發製造銷售及維護保養服務；真空泵浦新品銷售及維修、CIP改管工程、WEH Coating及ESG Heater Jacket銷售等。日揚近年發展新產品，針對粉塵與能耗重大議題，提出智慧尾氣處理方案，並聚焦於高效節能第三類半導體利基應用。

公司為半導體、光電、生化科技、醫療、食品、科研、學術單位…等產業及國內外設備廠商等高科技客戶，提供最完善的技術服務、化學表面處理、微波應用設備、電功率源維修、電漿製程微波系統監測及分析、廢氣濕式洗滌設備之關鍵零組件銷售及維修服務。

真空技術及真空設備在半導體產業扮演重要角色，舉凡半導體的四項主要製程：薄膜，蝕刻，黃光和擴散都少不了真空設備的使用，尤其半導體技術已經發展到奈米等級，真空零件和真空設備是關鍵要素。

真空設備之維修保養，諸如零組件配合，除了核心之真空泵外，尚需法蘭、夾鉗、中心圈、密封墊片、各式閥件、真空管件及伸縮軟管等零組件，且需定期維修更替，因此除了真空泵外，其相關組件是否得以及時有效之配合，亦是維修成效之關鍵。

公司真空泵銷售及維修之技術完全集中於高真空或高潔淨泵之領域，即渦輪分子泵、螺旋式及機械乾式泵。再加上台南樹谷新廠所設置的自動清洗線於 112 年已將投入服務，日揚自行搭建 For 先進製程專用之 100 等級高潔淨度清洗線及 1,000 等級無塵室，成為業界第一且唯一， 自清洗，維修，組立，測試…全製程一條龍之維修廠商。

以下為日揚主要的產品和服務:

日揚主要業務有真空腔體、模組、閥門及零組件設計製造銷售。真空泵銷售及維修。客製化各式真空鍍膜腔體與系統設計製造。

(1)真空零組件(真空閘閥/真空閥/真空法蘭/波紋管/真空管件/法蘭卡夾)

真空獲得的結構件，將真空零組件依照特定的方式組合之後可以利用真空泵浦排出空氣來製造真空環境，真空的作用主要是為了降低蒸鍍物的沸點，避免氣體干擾產生膜層缺陷及爭取研究膜層表面的時間，真空環境已經成為現代科技不可缺少的要素。

真空元件產品如 Flange、Clamp、Center Ring、Fitting、Bellows、Valve 以及 Chamber 主要應用於真空系統之管路組裝連接，還有提供製程所需之真空環境的腔體。製造主要流程為成型、車銑、焊接、組裝、測漏及功能測試。

(2)真空泵及設備機台銷售和維修(Edwards 磁浮渦輪分子真空泵/Dry pump乾式真空泵/二手真空泵/真空閘閥維修服務)

真空泵是利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的元件或設備。一般來說，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。它被大量運用半導體、光電、太陽能、機械、化工、醫療等產業。

真空泵依產品構造不同區分為直結驅動油轉式泵、耐腐蝕性泵、機械助力泵、直接驅動乾式泵、耐腐蝕性油迴轉式泵、油擴散式泵、離子泵、冷凍泵及磁浮式渦輪分子泵等九類，其各類之主要用途如下表可示。

半導體真空泵和傳統工業用泵，在應用環境上差異很大，半導體製程經常需使用特殊製程氣體，而這些製程氣體通常具有毒性、腐蝕或易燃、易爆等特性，再加上製程氣體反應副產物，會在真空泵內部凝結沈積，造成故障，對製程產生重大影響，其後果可能導致整批晶片報廢之虞，故應用在半導體真空泵需進行例行性維修，其維修頻率，則和製程性質有關。

(3)設備清洗與再生之技術服務

針對半導體設備大廠和OLED真空設備零組件之週邊需求，日揚提供客戶超潔淨清洗及表面處理之服務。

在泵浦維修之流程大致分為拆解、清洗、表面處理、組裝，測試完成後再送回客戶生產線等待安裝。

(4)Scrubber 設備

結合自有專利(Micro-bubble wet scrubber) 開發 Microwave Plasma Scrubber，能有效處理製程氣體全氟碳化物直接裂解、破壞與去除，效率達到 99.9%，並有效消除水中的 PFCsMicrobubble wet scrubber，已在半導體產業業中，驗證 PM2.5 的粉塵去除率> 95％。開發 Microwave Plasma Scrubber 設備能提供客戶更具效益及環保的尾氣處理方案，協助客戶針對氣體排放能夠符合相關法規。

產業概況

真空系統係指在真空狀態下存在之系統，運用真空物理之特性，將真空室室內壓力降至工作所需之壓力範圍中，以達到製程需求環境之系統。特別在尖端科技上之運用，更是真空產業發展之趨勢，相關應用製程如離子披覆(Ion implant)技術，超大型積體電路製作、核融合發電、加速器、光碟儲存媒體及平面顯示器等相關設備，皆需要較高的真空要求或潔淨度，以製造更高品質之產品。 

一般真空系統之組成元件包括有真空泵(Vacuum Pump)、真空閥(Vacuum Valves)、真空計(Vacuum Gauge)、真空室(Vaccum Chamber)、法蘭(Flange)、接頭 Connector)、真空引入(Vacuum Feedtrough)、視窗(Window)、阱(Trap)、擋板(Baffle)等不同元件。 

真空技術為現代科技產業的基礎，舉凡半導體、光電、生技、醫療、能源、食品等在內，每一個市場對真空產業而言都具有重要的地位。其中，因半導體代工與面板生產地區集中在亞洲，不僅帶來相當大的真空設備需求商機，另一方面半導體/平面顯示器市場需求又與全球景氣波動緊密連動，廠商在設備投資或是實施庫存調整的同時，也決定真空設備與機器的市場需求。

隨著製程技術的進步，使後段半導體封裝製程也開始進入真空環境，同時在環保意識抬頭的今天，真空鍍膜製程也逐漸取代有污染疑慮的電鍍製程。

與日揚公司經營項目相關的有半導體產業、平面顯示器產業、砷化鎵產業及 LED 產業皆與全球經濟發展、產業技術變化和市場需求有密切關聯。

另外，研究機構也是真空應用的主要場所，除了各大學之外，同步輻射加速器是使用最多超高真空產品的單位，因為其構造龐大而且對真空度和潔淨度的要求極高，僅有少數供應商有承包其設備及工程的能力。

以下為近年世界新建超低發散度光源設施:

產業上、中、下游之關聯性 

真空產業的上游是材料及零組件廠商，其中高階材料及關鍵零組件如高真空泵或真空計仍由先進國家掌握，中游是設備商集中在日本及歐美，雖然近年國際設備大廠陸續在亞洲設立組裝廠，但是設計研發主要還是在原廠，下游是電子產品製造商，大都集中於亞洲。 

真空產業上游之主要原物料如不銹鋼價格持平，國內廠商已經可以供應部分高階鋼材如316LN ESR，有助於爭取高單價產品，但是鋼材採購仍有最小批量的限制，而且製造產品需要各種不同尺寸規格的鋼材，對於加工廠，鋼材庫存會造成不小的資金壓力。

主要原料

(1)加工件：

不銹鋼為主要原材料，還使用碳鋼和鋁材。這些材料主要來自於台灣、中國、韓國及日本，反映原材料採購上的地理多元化策略。 

(2)電控零組件：

隨著自動化和電控產品需求的增長，對 IC 晶片及 PCB 等零組件的需求保持高量，這些零組件主要來源於台灣、中國及日本。

生產

日揚廠內生產資源以少量多樣的客製化服務(例如：腔體、客製管件)和自有品牌的閥門為主。生產策略因應各產品線特性採取混合式生產模式，以期快速回應市場需求：

日揚，是一家半導體真空閥門、真空設備維修公司。近5年ROE為12%，18%，15%，15%，13%。毛利率為34%，39%，38%，35%，32%。資產負債率為51%，51%，48%，46%，34%。以2023年為例，公司銷售以真空零組件佔35%，真空泵及設備機台銷售、維修佔45%，其他(外購商品及設備機台之銷售)佔20%。銷售產業以半導體產業佔50%，光電佔9%，其它佔41%。區域以台灣佔80%、亞洲佔13%，歐洲4%，美洲3%。日揚研發費用佔營收比例為5%。

競爭

國際上真空產品銷售的競爭非常激烈，尤其是真空泵浦，無經濟規模及品牌形象的小廠幾乎無立足空間。真空設備製造業為技術、資本密集產業，進入障礙較高，且歐、美、日等先進國家已累積數十年經驗。

目前各大真空廠有集團化的趨勢，例如瑞典Atlas Copco集團先後併購了英國Edwards和德國 Leybold及Brooks cryo pump部門，而德國Pfeiffer也併購了法國Adixen和美國 NorCal，但是仍然維持原有的品牌在市場銷售。中國目前也在積極發展真空關鍵零組件如乾式真空泵，研發前段半導體真空設備。

目前應用於真空系統之元件除了主體之真空泵外，尚包括有真空閥、真空管配件、真空室、法蘭以及波紋管(Bellows)等元件。我國在真空元件市場由於真空泵及真空閥技術較為薄弱，因而應用於半導體產業及光電產業上較少，主要供應來源還是以國外大廠為主。至於管配件、法蘭、真空室方面，國內技術較成熟，並有產品外銷國外大廠。

日揚在半導體閥門競爭對手有美國的Swagelok，美國的Parker，日本的Fujikin，日本的KIZT，瑞士的VAT。

有利因素

(1)潛在市場龐大

對消費性電子、汽車零件鍍膜、刀具鍍膜產業隨科技發展、環保、節能等趨勢下，真空設備已廣泛應用於半導體及光電等產業，而未來隨著科技發展，產品精密度要求提升，科技產業對真空環境之要求將日益嚴格，因此對真空泵之需求量，功能之要求亦將提升。

國內半導體在國內等大廠持續投入，光電產業則在面板業者帶動下，其設備需求仍將再成長，而配合這些產業設備之投入、高科技廠房、無塵室、真空設備、零組件之需求亦將帶給業者龐大之商機。 

(2)產業強調售後服務及維修保養能力，有利本土設備廠商發展

由於真空製程設備，大部分為高科技廠商配合生產製程量產之用，因此真空設備本身之效率將影響使用者對產品品質之控管。因此真空設備雖非投產所需，卻為製程控制之必要設備，且影響產品良率甚巨。

客戶除了對真空設備功能、成本之要求外，其對未來售後服務、維修保養能力及維修時效性之要求均極為嚴苛，而維修保養能力往往是客戶購買設備之關鍵性考量因素之一。能就近提供及時之維修與保養是一個優勢。

不利因素

由於國內廠商投入真空設備市場較晚，且國外廠商已累積多年經驗，並於產業中建立品牌忠誠度及信賴度，國內業者在真空技術領域仍侷限於傳統工業用泵產品。對於高科技使用之真空泵，以半導體業投資動輒百億元為例，設備使用者在風險考量下，品牌忠誠度較高，新進設備供應商不易進入市場。